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北京激光应用系统集成课题组
激光应用系统集成课题组成立于2016年8月,隶属于中国科学院微电子研究所。团队的科研目标是:通过“光电子和微电子技术”的集成能力,切实解决企业的技术需求,为国家信息产业服务。研究开展的领域包括:利用激光器针对微电子器件工艺步骤进行优化和替代,定制化光学整形元件的设..


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